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太阳能单晶硅锭及其制作办法ag88环亚娱乐
来源:未知 作者:admin 发布时间:2018-10-28 08:30 浏览量:

  太阳能单晶硅锭及其制作办法

  本发明触及单晶硅锭及其制作办法。其底部侧直胴部的特性与顶部侧直胴部及中部侧直胴部的特性相近似,高品位单晶硅的制品数率高,并且在直胴部整个长度上的质量大致均匀。并可按同一形状重复制作,在每批制品间,底部的形状没有误差。这种效果是经过操控底部22的直径D2使得直胴部侧底部2a的外表面相关于直胴部1的外表面接连具有10—25度的倾斜角θ而取得。

  提拉单晶硅的设备

  一种提拉硅单晶设备,包括设备主体,其间装备坩埚且坩埚包括石英坩埚部件和坩埚维护部件,盘绕坩埚外部装备加热元件,在加热元件外部装备保温筒,和在保温筒和设备主体之间装备隔热资料,环亚国际ag88,其间由碳质资料制作的保温筒和/或坩埚维护部件内侧至少上部区域用热分化碳膜掩盖。ag88环亚娱乐

  直拉成长单晶硅期间实时监测和操控氧的一氧化硅探针

  一种挨近实时定量化比如直拉硅熔体的熔体硅池蒸发的和熔体上方气氛中存在的一氧化硅的数量的办法。优选的办法包括将从硅熔体上方气氛提取的含有一氧化硅的气体试样与反响剂反响生成可检测的反响产品,测定所生成反响产品的量,和将所测定反响产品的量换算成气氛中存在的一氧化硅量。一氧化硅的量化用于监督和/或操控硅熔体的氧量或从硅熔体正在提拉的单晶硅中的氧含量。还公开了一种一氧化硅探针和运用该探针监督和/或操控氧的一种体系。

  双电极单晶硅电容加速度传感器及其制作办法

  一种双电极单晶硅电容加速度传感器,包括一质量块,至少两根弹性梁,若干细长片,由底部挖孔的硅外延层构成,支撑弹性梁的台座,上部由硅外延层构成,下部由氧化层将其与衬底离隔,起电绝缘效果,细长片旁边面用来制作横向可变电容器的活动电极,质量块和细长片的底面用来制作纵向可变电容器的活动电极,横向可变电容器的固定电极由若干与衬底电绝缘但与衬底硬衔接的细长片构成,纵向可变电容器的固定电极由衬底面构成。

  经过操控拉速散布制作单晶硅锭和晶片的办法及其产品

  一种硅锭按一拉晶速率散布下进行,其拉速要足够高以约束空隙凝集,且还要足够低以便将空位凝集限定在晶锭轴向上的富含空位区上。将晶锭切割成许八成纯晶片,每个晶片在中心具有富含空位区,包括空位凝集,和在富含空位区与晶片边际之间的纯度区,无空位凝集和空隙凝集。依照本发明的另一方面,晶锭可按一拉晶速率散布拉制硅锭,其拉速要足够高以便避免空隙凝集,且还要足够低以便避免空位凝集。因而,当将该晶锭切割成晶片时,晶片为纯硅晶片,可包括点缺陷,但无空位凝集团的空隙凝集团。